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经济

SK Materials开始量产超高纯度氟化氢气体

Write: 2020-06-18 12:00:12Update: 2020-06-18 14:06:55

SK Materials开始量产超高纯度氟化氢气体

Photo : YONHAP News

韩国国际广播电台报道:去年日本对韩国采取出口限制措施后,韩国企业开始自主生产半导体材料并快速取得成果。

SK集团17日表示,半导体材料生产企业SK Materials近期开始量产超高纯度(纯度99.999%)氟化氢气体。超高纯度氟化氢气体是日本限制向韩国出口的项目之一,在半导体制造环节中用于清洗,海外依存度曾达100%。

SK Materials去年底成功开发出试制品后,在庆尚北道荣州工厂建设规模达15吨的生产设施。SK Materials计划截至2023年将国产比例提高到70%。

SK Materials近期还着手开发高附加值产品“硬掩膜 (SOC)”和ArF光刻胶(ArF PR),并计划明年投资400亿韩元建设生产设施,从2022年开始每年生产5万加仑光刻胶。

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